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作者:Nazia Tabassum，澳大利亚莫纳什大学
微针已被证明可以促进活性药物(如大分子、纳米粒子、小极性分子)的经皮传递，否则皮肤是无法渗透的。然而，目前的微针存在一些缺点，如载药能力有限和降解不受控制。近年来，微针尺度逐渐缩小到纳米尺度，具有显著的优势。纳米针，即具有纳米尺度特征的微米尺寸的针，由于其增加表面积、减少侵入性和无痛给药而特别有前途。然而，精确控制微/纳米针在皮肤内的过度降解速率仍然是一个巨大的挑战。在我们的实验室，我们开发了多孔硅纳米针(psinn)，具有可调谐的孔隙率、生物降解性和机械强度，用于无创药物传递，将改善各种疾病的治疗。
利用Oxford Plasma 100深度反应离子刻蚀(DRIE)仪器制备了长度为40-50 μm、针尖直径小于1 μm的纳米针阵列。牛津仪器bob平台下载手机版的Plasma DRIE使我们能够创造出尖锐的纳米针，能够刺穿皮肤的最外层，并促进治疗剂的输送。制作过程包括UV光刻制版步骤，然后用DRIE工具进行干蚀刻。接下来，通过电化学阳极化在湿蚀刻过程中对纳米针进行正极化。进一步的制作细节将在下面的段落中详细阐述。
p型、低电阻率硅片被用作垂直阵列纳米制造的起始衬底。为此，在硅片上涂上正极光刻胶(AZ®4562)。衬底在110ºC下进一步烘烤。用铬掩模通过紫外线照射将确定的图案转移到基板上。最后将光敏涂层的基片浸入AZ中®400K显影液，去除暴露的抗蚀剂，完成纳米针的光刻图案。
含光敏电阻图案的圆的硅晶圆是使用Oxford Plasmalab 100 DRIE进行博世工艺蚀刻，并在RIE基础上进行标准干蚀刻。纳米针阵列的制备是一个由各向同性六氟化硫(SF)组成的三步过程6)步骤创建一个尖锐的尖端，和博世过程步骤获得圆柱形柱在各向异性蚀刻。第三步是用SF6和八氟环丁烷(C4F8)，以获得更锋利的尖端，增强皮肤穿透。
1.科幻小说6只有:
首先，利用各向同性量子力学方法制备了纳米针阵列的尖端6蚀刻过程控制时间。在各向同性的科幻小说6蚀刻，SF的流速6天然气调整。保持ICP发电机功率和射频功率。
2.博世的过程:
博世蚀刻采用SF6和C4F8分别用于蚀刻和钝化循环的气体。在两个循环中，C的流量4F8和科幻小说6调整。使用APC阀门位置和表温度值参数化氦气压力。所需的硅蚀刻深度是按比例通过蚀刻和钝化周期实现的。然后用丙酮、异丙醇和水在超声波浴中除去纳米针阵列顶端的光刻胶，每个溶剂大约一分钟。
3.硅纳米针的电化学刻蚀孔隙化
在氢氟酸(48%)和乙醇(3:1体积比)溶液中电化学刻蚀含有纳米针阵列的硅晶圆。蚀刻是在一段时间内以恒定电流密度进行的。所形成的pSi层厚度为1.6 μm，孔隙直径为4 ~ 11 nm。因此，Oxford Plasmalab 100 DRIE仪器有助于创建所需形状的psinn，用于有效透皮渗透，将生物活性剂递送到深层皮肤层。该DRIE工具还有助于蚀刻孔阵列、纳米棒和光栅
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