采用创新等离子体加工技术的PSS蚀刻

LED行业内对提高拥有成本的积极推动推动了牛津仪器等离子体技术的创新。bob平台下载手机版优化的等离子体处理提供了许多方法来提高器件输出和降低制造成本，这是一笔双倍的横财。

LED制造需要关键的等离子蚀刻步骤(图案蓝宝石衬底(PSS)和GaN蚀刻)和钝化、电流阻塞和掩模生成的沉积步骤，这些步骤是通过越来越多的技术来实现的，例如等离子增强化学沉积(PECVD)。

本报告介绍了在这些过程中提高生产率的方法，包括提高加工速率和增加同时加工的晶圆数量。

主讲人:Mark Dineen博士，产品经理:光电子学(英文)

Mark Dineen博士毕业于卡迪夫大学，获得氮化镓等离子体蚀刻博士学位，并于2000年开始在牛津仪器公司工作。bob平台下载手机版从事III-V材料蚀刻，并专注于氮化镓、蓝宝石和HBLED相关材料，具有丰富的光电子器件制造经验。

本次网络研讨会由黄杨博士以中文主持。查看中文版

马克Dineen博士
产品经理:光电子学

年轻的黄博士
现场和实验室应用经理bob综合app官网登录