用于功率转换和传输的新型氮化镓电力电子产品正在开发中。在电动和混合动力汽车(EV和HEV)等电动交通工具中,这些设备正变得越来越重要,设备成本和效率对它们的成功至关重要。
在本次网络研讨会中,Aileen O'Mahony博士将讨论GaN HEMT器件的最佳ALD解决方案。我们将演示如何实现提供最佳GaN器件性能所需的高薄膜质量和低界面缺陷密度,以及如何实现以下目标:
Aileen O 'Mahony博士拥有University College Cork的化学博士学位,在微电子应用的原子层沉积(ALD)领域。bob综合app官网登录Aileen曾在美国和英国从事ald功能化产品商业化的工业驱动过程开发工作。
她现在专注于推进原子尺度加工产品解决方案。她是20多篇论文的作者和合著者,并出席了许多国际会议。