铝

铝（A1）是硼基团中的非磁性延性金属。AL具有金属互bob综合app官网登录连的应用，也用作一些材料的硬掩模。Al和相关膜可以顺利使用干蚀刻电感耦合等离子体(ICP)或存放使用离子束沉积(IBD)技术。

流程福利

宽温度范围
表面光滑
优秀的步骤覆盖
晶片尺寸:200毫米
- 产品:PlasmApro 100.＆100年PlasmaPro北极星
晶片尺寸:300毫米
- 产品:Ionfab 300.

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