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扩张

二氧化钛

二氧化钛(TiO2)根据哪种形式,对散装材料的折射率为2.488,2.583或2.609。它可用于镜子或过滤器的光学涂层。此外,TiO 2可以具有高介电常数,可以用作生物相容性的材料,作为耐腐蚀层并且可以具有光催化性质。

锡可以用原子层沉积(ALD)或者离子束沉积(IBD)和蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)

二氧化钛
  • 高度各向异性概况。
  • 小区域也倾斜蚀刻。
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  • 高材料质量和低损坏,即使在低沉积温度下也是如此。
  • 另外,在使用基板偏置选项时FlexAL可以调整属性。
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