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扩张
升级
双CM量规切换

双CM仪表切换提高了灵活性

升级提供了通过单个压力控制阀利用两个不同电容压力计的不同范围的能力,并自动切换量规使用,取决于压力。

好处

  • 更大的压力控制范围
  • 保持分辨率
  • 前端GUI上的单压设定点
  • 灵活的量规配置
  • 提高ICPCVD工艺的传热效率
  • 提高过程灵活性
图显示了双CM量规切换升级的性能 要求定价 联系我们

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