屏幕上TEOS液位监测

TEOS液位传感可作为现有TEOS液体输送模块的升级，目前在PLASMAPRO 100 PECVD＆NONOFAB上没有水平感测。

使用安装在Teos罐的超声电平传感器实现了电平传感。牛津仪器软件读取三个级别的感测位置，屏幕上显示清晰的级别指示。bob平台下载手机版

好处：

在PC2000软件上显示TEOS易拉罐的清晰预警。
如果TEOS用完，活动进程将自动停止。日志文件显示时间运行和剩余时间，以处理新罐安装。
允许计算Teos使用
最小化由快速气流引起的基材上的颗粒污染
罐阀门从手动阀门发生变化到空气操作的气动阀，以更大的用户鲁棒性和更自动化的操作。

张志贤模块

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