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白皮书

等离子体加工解决方案制造碳化硅电力设备

在本白皮书中,我们考虑等离子体处理的作用,其重要性在定义SiC设备性能和最优策略的应用程序。

我们还检查主要SiC等设备的结构:

• 肖特基势垒二极管(作为);和
• 金属氧化物半导体场效应晶体管(mosfet)。

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