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本次网络研讨会概述了晶圆级器件制造和表征技术，这些技术将推动石墨烯和基于二维材料的技术发展到下一个技术准备阶段。
石墨烯/2D器件开发工作将涉及三个方面:
由牛津仪器等离子技术bob平台下载手机版公司主办Raith Gmbh是一家而且das-Nano缟玛瑙．
气相沉积技术已经成为所有基于石墨烯和其他二维材料的器件制造的主力。为了成功地扩大迄今证明的原型应用，需要开发用于大面积沉积这些材料的技术和工艺。bob综合app官网登录
在这次演讲中，我将首先概述牛津仪器公司开发的实验室到fab技术和工艺，通过CVD和ALD生长石墨烯，其他分层材料和异质结构，然后是我们在器件制造工艺技术方面的发展，如ALD电介质沉积和RIE和Abob平台下载手机版LE器件图形蚀刻。
电子束光刻(EBL)系统已被证明是一种灵活的纳米制造工具，能够实现广泛的纳米技术应用。bob综合app官网登录在当今以纳米研究为基础的各个学科实验室中，它们被认为是“必须拥有的”。这些EBL技术通常提供10nm以下特征尺寸的纳米图案分辨率。
电子束光刻的基本原理和相关的纳米器件制造的后续基本工艺技术步骤将被描述。重点将放在许多不同的应用上，展示基础石墨烯研究和先进的(晶圆级)石墨烯纳米器件应用。bob综合app官网登录
在这次演讲中，我将解释太赫兹波的特殊特征的组合如何引入一种新的方式来观察以前不可见的东西。该技术已在ONYX中实现，ONYX是市场上第一个旨在提供石墨烯、薄膜和其他二维材料的全区域无损表征的系统，覆盖了宏观和纳米尺度工具之间的差距。
本文将详细介绍其工作原理、主要特点和可能的应用。bob综合app官网登录大型行业参与者和研究机构已经在使用我们基于太赫兹的设备，如Onyx，并将其应用于制造过程和质量控制中。
Ravi曾参与多个机构的材料研究，如瑞士EPFL，德国斯图加特马克斯普朗克研究所，IBM T.J Watson研究实验室，纽约和剑桥大学，在那里他从事一维和二维材料研究的几个方面，从合成，基础科学到传感器，光电子学和电子学的原型应用。bob综合app官网登录
他加入牛津仪器公司，bob平台下载手机版领导和协调二维材料产品的研发工作。目前，他负责研究和开发新兴技术市场的战略，如二维材料、生物医学设备、集成光子学、量子技术等。
Frank Nouvertné 1998年在亚琛工业大学获得物理学博士学位，随后作为博士后工作了一年。从那时起，他在Raith工作，首先是国际销售，后来担任产品经理，目前担任高级产品市场经理电子束光刻(EBL)。
管理学术市场的整个EBL系统组合，他在基础和应用纳米研究的各种应用方面积累了丰富的经验，并通过与大学和其他研究机构合作领导几个(国家和欧洲)研究项目来补充他的专业知识。bob综合app官网登录
Israel Arnedo目前是das-Nano S.L公司的太赫兹技术总监，纳瓦拉公立大学电气、电子和通信工程系副教授。自2018年起，他担任UPNA工程学院副院长。他的研究领域包括微波、毫米波和太赫兹领域的周期结构器件、耦合模式理论、逆散射合成、材料表征及其在超宽带(UWB)系统、空间和卫星技术、生物医学工程研究和工业产品中的应用。bob综合app官网登录
在该领域发表论文75余篇，拥有2项国际专利成功授权。
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