GaN电力电子白皮书-牛津仪器bob平台下载手机版 - bob网app,bob综合app手机客户端,bob综合app官网登录

白皮书
氮化镓电力电子的原子层沉积和原子层蚀刻

新的GaN电力电子产品正在开发中，用于功率转换和传输。在电动和混合动力电动汽车(EV和HEV)等电动交通工具中，这些设备正变得越来越重要，设备的成本和效率对它们的成功至关重要。氮化镓的高迁移率和击穿电压使其成为电力器件的理想材料。

特别是，发生在AlGaN/GaN界面的二维电子气允许非常有效的器件。然而，AlGaN层需要栅极上的负电压才能关闭。这种“d模式”或“正常开启”的设备不符合故障安全设计标准，因此开发“e模式”或“正常关闭”的设备有很强的动力。

制造这种器件有几种策略，其中利用AlGaN势垒的隐窝蚀刻是一种突出的策略。此外，栅极电介质层需要限制泄漏电流。

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Mark Dineen博士
牛津仪器等离子技术技术营销经理bob平台下载手机版

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