量子设备的ALD -白皮书-牛津仪器bob平台下载手机版 - bob网app,bob综合app手机客户端,bob综合app官网登录

白皮书
量子器件的原子层沉积

由于晶体管带来了信息时代，量子技术有可能成为下一个巨大的飞跃。量子技术是量子物理在现实世界中的应用，如量子计算、传感、导航和通信。bob综合app官网登录

传统的超导体沉积方法包括溅射、脉冲激光沉积(PLD)和化学气相沉积(CVD)。然而，这些方法可能存在缺陷，包括缺乏厚度控制，均匀性差和杂质含量高。

原子层沉积(ALD)对薄膜沉积更有利，因为它能够生产高纯度的薄膜，精确的厚度控制，高纵横比结构中的保形涂层，以及大面积基底上的均匀性。

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Mark Dineen博士
等离子技术公司的技术营销经理

哈姆·努普斯博士
等离子体技术的原子尺度分段专家

Tania Hemakumara博士
等离子技术产品开发工程师

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