原子尺度处理(ASP)

原子尺度加工是指在原子尺度上控制的晶圆尺度加工。这种原子级控制扩展到薄膜的沉积，材料的去除或蚀刻，以及具有独特特性的1D和2D材料的生长，如石墨烯。

我们的等离子体加工系统为原子级加工提供了完整的解决方案。我们提供独特的集群能力或独立系统，能够在生产规模上以原子级精度操纵物质。

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原子层沉积介质，氮化物和金属低损害。我们独特的集群能力提供了直接覆盖表面而不暴露在空气中的能力。例如，这些可以是蚀刻界面或新生长的2D材料，如MoS₂或被ALD介质或覆盖层覆盖的石墨烯，这对于广泛的设备来说是一个很大的优势。

低损伤的介质和金属的原子层沉积

原子薄结构的化学气相沉积和ALD: 1D和2D材料。

通过用ALD薄膜覆盖纳米线或蚀刻1D和2D材料来调整其性能，可以构建独特的器件。

利用DEZn前驱体CVD生长ZnO纳米线。
(剑桥大学纳米科学中心提供)

hBN的CVD生长

硅，氮化镓和二维材料的原子层蚀刻。由于这些材料在广泛的设备中执行基本功能，我们能够以极端控制和低损坏蚀刻这些材料，这可能是一项可行的技术。此外，将ALE与沉积和生长相结合将为您的设备制造提供独特的优势。

25nm宽的硅沟槽通过ALE蚀刻到110nm深度，HSQ掩模仍然存在。

FlexAL - ALD系统

FlexAL ALD系统提供优化的高质量等离子解决方案，满足学术界和企业研发的各种需求。

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使用石墨烯等二维材料开发高性能器件比以往任何时候都更加重要。与Raith Gmbh是一家而且das-Nano缟玛瑙，本次网络研讨会概述了石墨烯和2D材料制造、光刻和无损电气表征、处理解决方案，这些都是下一阶段技术准备的关键驱动因素。

观察记录

随着生物医学设备提高了各种疾病的治疗速度和效率，半导体技术对全球医疗保健正变得越来越重要。在本白皮书中，您将了解在生物医学设备中制造微流体和传感器/换能器的有源元件的各种处理挑战和解决方案。

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